第324章 目前就这些（2/2）

孟祥林的笔一直没停下来：

“分光系统和扫描模块的採购我记下了，会后我拉个设备清单，肖教授確认一下具体型號和参数。”

肖宿点了点头，说道：

“第三项是纳米压印洁净间產线，必须百级的。

气浮平台、压印模板、镀膜设备，这三个是一套的，少一个整条链就断了。”

赵铁军这会儿已经彻底放开了，语气比刚才又热络了几分：

“肖教授，气浮平台我们有现成的，军工標准的，隔振性能比你市面上能买到的高一个量级，做纳米压印绰绰有余，压印模板的话……”

“模板得自己设计，”肖宿说，“超表面天线阵列的几何图案要根据最终確定的谱域对消参数来定製，没有现成的。”

“那就涉及到电子束光刻做模板母版了，”韩柏岩插了一句，“航天那边有台jbx-6300fs，一百千伏的加速电压，线宽能做到十纳米以下。做压印模板的母版够了。”

孟祥林抬起头，推了推眼镜：

“镀膜设备呢？金属介质金属三层结构的话，膜厚控制得在纳米量级，得用原子层沉积还是磁控溅射？”

“原子层沉积做膜厚控制更精准，”肖宿说，“但三层结构里金属层用电介质层用ald的话，界面处的附著力可能有问题。

可以先上磁控溅射做第一轮工艺验证，如果界面质量不行再换ald。”

孟祥林点了点头，又记了两笔。

说到这里，肖宿顿了顿，话头一转：“隱身衣的设备基本就这些，不过，光刻机方案那边还有一个东西，原理验证需要一台小型自由电子雷射器。

功率不用太高，但波长调谐范围必须能覆盖深紫外，不然多束相干合成的第一步实验没法做。”

赵铁军听完这句，愣了一下，然后转头看看韩柏岩，又看看孟祥林，嘴角直接翘了起来：“这个我可就真的只能出钱了。”

韩柏岩也难得笑了一下：“赵处长別急著认，自由电子雷射器我倒是有门路。

航天科工跟中科院高能所合作过一台小型的，原先是做空间光通信实验用的，波长从极紫外到近红外连续可调，功率几百瓦，后来项目结题了就一直放在高能所的实验室里，保养倒是没断过。

肖教授这个实验几百瓦功率可能还嫌大了，调低一些应该能用。”

“几百瓦调低到实验功率没问题，加个衰减器就行，”肖宿说，“关键是波长的调谐精度和光束质量。

多束相干合成对波前一致性的要求很高，输出镜的波前畸变得控在几分之一个波长以內。”

“这个我得回去確认一下那台机器的输出波前指標。”

韩柏岩收起笑意，认真地点了点头，“明天之內给你答覆，如果不达標，看能不能加一套波前整形光路补偿一下。”

“可以。”肖宿说。

孟祥林搁下笔，把刚才记的从头捋了一遍：

“那我匯总一下，场地最少四百平米净面积，六轴平台从航天调，检测系统光源航天出、探测器装备部出、分光模块走採购，纳米压印產线气浮平台装备部出、母版用航天的电子束光刻机做、镀膜设备採购磁控溅射，自由电子雷射器从高能所调。

肖教授，还有漏的吗？”

肖宿想了想：“目前就这些。”